ATOMAX二流體噴嘴在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用廣泛且關(guān)鍵，其技術(shù)優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在精密噴涂、高效清洗以及材料兼容性等方面。以下是其具體應(yīng)用場(chǎng)景和技術(shù)特點(diǎn)的綜合分析：
一、精密噴涂工藝
晶圓背面涂覆
ATOMAX二流體噴嘴(如AM系列)通過霧化膠水實(shí)現(xiàn)晶圓背面的均勻涂覆。噴涂過程中，噴嘴從晶圓中心向邊緣移動(dòng)，結(jié)合旋轉(zhuǎn)技術(shù)，形成厚度可控的膠膜(通常低于20μm)。這種工藝替代了傳統(tǒng)DAF膜技術(shù)，降低了成本并提升了工藝柔韌性。
關(guān)鍵參數(shù)：AM系列噴嘴可生成平均粒徑約5μm的超細(xì)顆粒，壓縮氣體需求低(20-750瓦空氣壓縮機(jī))，適用于極低流量的精密噴涂。
光刻膠涂覆
在光刻工藝中，噴嘴用于替代旋涂法，解決膜厚調(diào)節(jié)不穩(wěn)定和材料浪費(fèi)的問題。通過霧化噴涂，光刻膠可均勻覆蓋復(fù)雜形狀的襯底，尤其適用于薄膜涂覆(如電子元件制造)。
二、清洗與防靜電處理
芯片切割清洗
二流體噴嘴結(jié)合二氧化碳發(fā)泡技術(shù)，在芯片切割過程中生成泡沫，用于中和堿性殘留物、防止靜電吸附硅屑，確保切割環(huán)境的潔凈度。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)：外混合式設(shè)計(jì)避免液體與氣體管道串流問題，且噴嘴結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不易堵塞。
精密設(shè)備清洗
噴嘴產(chǎn)生的霧化顆粒分布均勻且沖擊力低，適合清洗半導(dǎo)體制造設(shè)備(如等離子體顯示器、PCB板等)，避免對(duì)精密部件造成物理損傷。
三、材料與工藝適配性
高粘度液體處理
CNP系列噴嘴專為高粘度液體(如廢油、漿料)設(shè)計(jì)，液體直徑可達(dá)3.5-5.6mm，可霧化高達(dá)10,000cp粘度的液體，適用于廢油燃燒、涂層噴涂等場(chǎng)景。
BN系列則適用于大流量噴涂(如陶瓷上釉、脫模劑噴涂)，其液體噴射孔徑達(dá)2.0-6.0mm，支持連續(xù)作業(yè)不堵塞。
材料兼容性
噴嘴采用耐腐蝕材料(如SUS316L不銹鋼)，適用于高溫和化學(xué)腐蝕環(huán)境，且液體接觸部分無O型圈設(shè)計(jì)，減少污染風(fēng)險(xiǎn)。
四、技術(shù)優(yōu)勢(shì)與行業(yè)價(jià)值
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
外混合渦流式設(shè)計(jì)：通過高速旋流實(shí)現(xiàn)高效霧化，孔徑比傳統(tǒng)噴嘴大10-200倍，降低堵塞風(fēng)險(xiǎn)。
節(jié)能高效：自吸功能減少泵的需求，壓縮氣體消耗更低，適合低粘度液體噴涂。
靈活性與維護(hù)
噴嘴體積小巧，支持多種安裝方式(如螺釘固定)，且僅需兩個(gè)組件，維護(hù)簡(jiǎn)便。
五、典型應(yīng)用案例
半導(dǎo)體晶圓制造：AM系列用于薄膜涂層，BN系列用于大流量脫模劑噴涂。
電子元件封裝：CNP系列處理高粘度膠水，確保剪切強(qiáng)度和剝離強(qiáng)度達(dá)標(biāo)。
潔凈室滅菌：通過超細(xì)霧化實(shí)現(xiàn)高效消毒，覆蓋復(fù)雜空間。
Atmax噴嘴AM系列
AM6/AM12/AM25/AM45
可以精確地從非常少量的情況下噴灑，以獲得平均粒徑約為5μm的超細(xì)顆粒。它是一個(gè)很小的噴嘴，可以用20-750瓦的空氣壓縮機(jī)操作。主要用途包括表面薄膜涂層，在科學(xué)和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的噴霧極少，室內(nèi)和各種設(shè)施的滅菌和消毒。
AM6和12種類型適合用細(xì)顆粒噴灑極小的流速。壓縮氣體流速也小于常規(guī)噴嘴的流量。主要用途包括在半導(dǎo)體晶片上進(jìn)行精確噴涂，在電子組件和功能材料制造過程中薄膜形成，以及噴涂和涂料。
Atmax噴嘴BN系列
BN90/BN160/BN200/BN500/BN1000
基本結(jié)構(gòu)與AM類型相同，噴嘴具有更高的噴霧流標(biāo)準(zhǔn)。
用途包括成型工藝，涂抹高粘度液體，在噴霧烘干機(jī)上噴灑噴霧劑，在食物上噴灑調(diào)味液以及重油和工廠廢油的高溫燃燒。
ATMAX噴嘴BN類型的液態(tài)噴霧端口直徑為φ2.2.0至φ6.0mm，但可以非常穩(wěn)定。它適用于高噴霧流速的工作，并已用作用于大規(guī)模生產(chǎn)的設(shè)備和設(shè)備的噴嘴頭。在生產(chǎn)線，陶瓷釉料涂料，模具制造過程中的霉菌釋放劑盒以及用于廢氣凈化設(shè)備的噴嘴頭上有噴涂工藝。該噴嘴允許在不堵塞的情況下連續(xù)操作，并允許大量加工液體霧化。
Atmax噴嘴CNP系列
CNP(W)200/CNP(W)500/CNP1000
該噴嘴的開發(fā)是為了適應(yīng)生產(chǎn)線和工廠中的大量噴霧。由于噴霧直徑較大，汽油，煤油，重油，汽車變速箱廢油，可食用油等，例如汽油，煤油和高粘度易燃廢油，粘度為1,000cp或更少，以及潤(rùn)滑脂液體和潤(rùn)滑脂液體，相當(dāng)于10,000cp的固體粉末可用于霧化液體，例如含有漿液的漿液。
ATMAX噴嘴CNP類型的液體直徑為φ3.5至φ5.6mm，并且非常大，甚至可以堵塞高度粘性的液體，并且可以將其噴入原子而不會(huì)導(dǎo)致其向前或下垂下降。所有組件均由金屬制成，使其適合在耐化學(xué)和高溫環(huán)境中連續(xù)運(yùn)行。 CNW有兩個(gè)液體供應(yīng)端口，允許將兩種不同類型的液體分開送入噴嘴，并使用噴嘴噴霧端口混合和噴灑。根據(jù)工作條件的不同，可以無需先前的液體混合而工作。
總結(jié)
ATOMAX二流體噴嘴通過其精密霧化、材料兼容性及高效清洗能力，成為半導(dǎo)體制造中不可少的工具。其多系列產(chǎn)品(AM、BN、CNP)覆蓋從極低流量到高粘度液體的全場(chǎng)景需求，顯著提升工藝柔韌性和生產(chǎn)效率。具體選型需結(jié)合噴涂流量、液體粘度及環(huán)境要求進(jìn)行匹配。
